MDLB-MC200
포토마스크 청소기
청소 장치:
청소 챔버는 부식 방지 재료로 처리되어 있으며, 표면이 매끄럽고 청소가 용이합니다. 내부 공간의 바닥에는 중력 이용 폐수 배출구가 있어 폐수가 공장의 폐수 배출 파이프라인으로 배출될 수 있습니다. 내부 공간 안에 흡입구가 있어腔내 대기를 즉시 추출할 수 있습니다. 3개의 자동 스윙 암이 장착되어 자동 세척을 실현할 수 있습니다.
구성 매개변수 표:
|
아니요. |
프로젝트 |
제품 사양 |
비고 |
|
1 |
장비 개요 |
장치 이름: 포토마스크 클리너 |
|
|
장비 모델: MDLB-MC200 |
|
||
|
전체 크기 (약): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H) |
|
||
|
전체 기계 무게 (약): 300KG |
|
||
|
작업대 높이: 900 ± 50mm |
|
||
|
기판 크기 사양: 2/4/5/6/8 인치 정사각형 마스크 플레이트에 적합 |
|
||
|
공정 흐름: 수작업 웨이퍼 배치 → 청소 (브러시, 세정액 → 고압 물 → 메가소닉 물 → 이온 교환수 → 질소 가스 건조) → 수작업 웨이퍼 제거 |
|
||
|
장비 유형: 반자동, 수동 로딩 및 언로딩 |
|
||
|
2 |
장비 구조 |
외피: 스테인레스 스틸, 매끄러운 표면, 내부식성, 청소가 용이함 |
|
|
세척실: PP, 매끄러운 표면, 내부식성, 청소가 용이함 |
|
||
|
파이프라인: PU/PFA 파이프 사용 |
|
||
|
작업 조명: 방부 처리된 황색 빛 조명 |
|
||
|
문 개방 방식: 이중 문, 문 개방 경보 기능 포함 |
|
||
|
터치 스크린: 10인치 풀컬러 터치 스크린 * 1개 |
|
||
|
FFU: 100등급 |
|
||
|
누수 방지 바닥 지지대: 가능 |
|
||
|
3 |
고정밀 서보 모터 |
수량: 1 |
|
|
속도: -3000~3000rpm |
공회전 |
||
|
주축 회전 최대 가속도: 3000rpm/s |
공회전 |
||
|
속도 정확도: ± 1rpm (50rpm~3000rpm) |
|
||
|
속도 해상도: 1rpm |
|
||
|
4 |
자동 스윙 암 |
수량: 3 |
|
|
스윙 암 속도: 1~30 °/S |
|
||
|
5 |
세척 유닛 |
세척 스윙 암: 이온화된 물 1 채널, 질소 가스 1 채널 메가소닉 암: 1 메가소닉, 1 고압수 브러시 암: 1 브러시, 1 물, 1 세정액 |
|
|
세정 방식: 자동 세정 |
|
||
|
이온교환수 흡입 기능: 가능 |
|
||
|
역세척 (이온교환수): 1 통로 |
|
||
|
공급 방식: 세정액: 다이아프램펌프 이온교환수: 공장에서 직접 공급 |
|
||
|
액위 검출 기능 있는 압력 탱크 |
|
||
|
6 |
브러시 닦기 |
수량: 1개 (자체 세척 기능 포함) |
|
|
속도: 최대 1000rpm, 조절 가능한 속도 |
|
||
|
높이 수동으로 조절 가능 |
|
||
|
7 |
로드 트레이 |
수량: 5 |
|
|
재질: PPS+스테인레스 강 |
|
||
|
크기: 2/4/5/6/8 인치 사각 마스크 플레이트에 적합 |
|
||
|
기판 고정 방식: 발톱 고정 방식 |
|
||
|
8 |
제어 시스템 |
제어 시스템: PLC 제어 사용 |
|
|
프로그램: 100그룹, 각 그룹은 100단계로 구성되며 최대 단일 단계 시간은 3000.0초 해상도: 0.1S |
|
||
|
프로그램을 저장, 호출, 수정 및 삭제할 수 있습니다 |
|
||
|
암호화 권한 설정: 장치 운영자, 기술자, 관리자 및 제조업체별로 설정 |
|
||
|
신호 타워 유형: 빨강, 노랑, 초록 3색 |
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
